[发明专利]具有温度控制的化学机械研磨装置

权利要求书

1.一种具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征是：包括：

研磨垫，在该研磨垫上设有研磨液；

托盘，固持一被研磨物，并使该被研磨物在研磨垫上以化学机械法研磨；及

加热装置，将托盘加热至一设定温度，使研磨垫、托盘及被研磨物维持在摄氏温差二度内的恒温状态。

2.根据权利要求1所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：还包括一用以储存被研磨物的储存装置、以及一用以将被研磨物从该储存装置取出并传送至研磨垫上的传送装置，且加热装置还包括将储存装置及传送装置加热至设定温度。

3.根据权利要求1或2所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：设定温度为20~80℃。

4.根据权利要求2所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：储存装置为石英制成，加热装置为红外线加热源，设置于该储存装置的周围，用于加热储存于该储存装置内的被研磨物。

5.根据权利要求2所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为热气管线，设置于储存装置的周围，用于喷出热气以加热储存于该储存装置内的被研磨物。

6.根据权利要求2所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为储有热液体的预热槽，而储存装置浸于该预热槽中，用于加热储存于该储存装置内的被研磨物。

7.根据权利要求2所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：传送装置包括一机械手臂，而加热装置为加热线圈，设置于该机械手臂内以加热该机械手臂。

8.根据权利要求2所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：传送装置包括一输送皮带，加热装置为红外线加热源，设置于该输送皮带的周围，用于加热输送被研磨物的输送皮带。

9.根据权利要求2所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：传送装置包括一输送皮带，加热装置为热气管线，设置于该输送皮带的周围，用于喷出热气以加热输送该被研磨物的输送皮带。

10.根据权利要求2所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为一储有热液体的输送槽，传送装置包括一设于该输送槽中的输送皮带。

11.根据权利要求1所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为热气管路或热线圈，设于研磨垫底下，用以均匀加热该研磨垫。

12.根据权利要求11所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为放射状。

13.根据权利要求11所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为同心圆状。

14.根据权利要求11所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为放射状加上同心圆状。

15.根据权利要求11所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为格状加上同心圆状。

16.根据权利要求1所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置设于研磨垫底下，该加热装置包括中空的内本体及外本体，一热液体由内本体引入该加热装置后再由外本体引出，用以均匀加热该研磨垫。

17.根据权利要求16所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：内本体的内部以隔板隔开，且在每一隔板上开设有孔洞，热液体被引入该内本体后，由孔洞通过隔板使热分布均匀。

18.根据权利要求1所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为热气管路或热线圈，设于托盘内，用以均匀加热该托盘。

19.根据权利要求8所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为放射状。

20.根据权利要求18所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为同心圆状。

21.根据权利要求18所述的具有温度控制的化学机械研磨装置，其特征还在于：加热装置为放射状加上同心圆状。