[发明专利]平面显示屏的排气装置及其工艺

说明书

本发明平面显示屏的排气装置，特别是在于上板下板构成的盘(板)之间存在不纯气体的排气；盘间的间隔扩大，设定盘的外部压力与盘的内部压力不同，大大地确保了气体的电导排气，盘内部的不纯气体可容易地排气，有关平板显示屏用的气体排气装置及其方法如下：

一般来说，显示装置是为人类与电子装置信息交换的重要的接口，随着信息化社会的发展，可接触人类信息量的不断扩大，要求利用它信息化机器的多样化，有关这样地信息化机器的显示装置的特性，就显得尤为重要。

因此，比现存的CRT(OATHOBA-RAYTUBE)，薄型化成为可能，且轻、画面优、多种附加功能、可行的环保型PDP、LCD、FED、有机EL等对于平板排出的研究，不断地深入，它是迄今为止，作为能代表显示装置主流CRT的下世纪的排出装置登上舞台。

如前所述，平板排出是由层叠组成的各机构膜的上板和下板，双方互相对前接合的，在它们之间具有一定间隔，在制造工艺中，必须经过除去存在于内部的不纯气体的阶段。

例如：等离子体显示屏(以下称PDP)的制造工艺大致区别为前工艺和后工气，前工艺为在上部玻璃和下部玻璃备有所定的电极及电介质膜、隔壁等工艺；后工艺为完成前工艺的上部玻璃与下部玻璃使之附着、排出及使之注入所定的气体，形成一张盘(板)。

图1是普通PDP的上部玻璃和下部玻璃前工艺过程的说明。

图1所示，上部玻璃10，一面组成了透明电极11及脉冲电极12，在该透明电极11及脉冲电极12上面，限制放电时放电电流，以均等的厚度形成容易生成壁电荷的介子层13，在该介子层13上在，由发电时生成的阴极真空喷镀，形成了保护前述的透明电极11和脉冲电极12以及介子层13那样地氧化镁(MGO)保护膜14。

另外，图1所示，下部玻璃20如前述形成在上部玻璃10的透明电极11及脉冲电极12，隔有所定距离，正交地形成接地电极21，如前述，在上部玻璃10和下部玻璃之前，如前述用复数的放电格栅分离接地电极21，防止格栅间混色，可确保放电空间那样，排列形成隔壁22，在前述的接地电极21上，喷涂形成荧光体23。

即如图所示的那样，上部玻璃10和下部玻璃20各自形成，所以等离子体显示屏的前工艺完成。

接着参照图2说明PDP的后工艺。

首先，在后工艺中，在如图1所示的下部玻璃20的上部边缘部喷涂所定的玻璃料30，附着在如图1那样上部玻璃10上。

这时，由形成在下部玻璃20上的隔壁，形成了所定的格栅(也可说放电格栅)，下部玻璃20与上部玻璃10的距离H1约为120-140μm，下部玻璃20的荧光体23与上部玻璃10的距离约为100μm左右。

另一方面，上部玻璃10和下部玻璃20的附着工艺如果完了的话，介于连结在排气孔31的末端管32，存于形成在隔壁22间的放电格栅33的不纯气体成份要排气，以后介于排气孔31，要给真空状态的放电格栅31，注入所定的放电气体。然后，通过密封处理为气体的排气及注入的排气孔31，后工艺就已完了。

在这里，前述的气体排气工艺要设定真空状态，要把形成在隔壁22之间的放电格栅33的不纯气体排出，通过放电格栅33的排气线路，如图3所示那样形成。

但是，按照图2所示，上部玻璃10与下部玻璃20之间的距离H2约为100μm，由于是非常微细的空间，所以通过象图3那样形成的排气线路的不纯气体，其排气处理引起延长其工艺时间的问题。

另外，需要过程，大气压的热水循环型的炉内，假如用炉做的话，温度的上升与冷却都需长时间，尤其是通过盘(板)内部固有的非常低的电导排气，不纯气体的排气需要很长时间，使生产率低下，能源消耗多这一问题。

因此，上述问题不限于PDP，处理由上板和下板构成的盘内部的不纯气体的平板显示屏也是共通的问题。

上述问题引起了包括PDP在内的平板显示屏的生产时间使之延长，生产竞争力低下这样的问题。

另外，前述的排气工艺，介于细微的空间，进行不纯气体的排气处理，将会产生不能正确处理不纯气体的排气的场合，这是作为使平板显示屏的图象质量劣化的原因，问题的关键所在。

因此，本发明是考虑了上述的情况后创造出的，其目的是设定平板显示屏的外部压力与内部压力的不同，盘的排气空间，即电导排气，通过压力差，在极大地确保的状态下，通过进行排气工艺，缩短了不纯气体垢排气时间，同时，提高了不纯气体的排气效率，下面提供平板显示屏用的气体排气装置及其方法。