[发明专利]平面显示屏的排气装置及其工艺

权利要求书

1、一种用于排出平面显示屏内不纯气体的排气装置的排气工艺，其特征在于设定置于容器内的平面显示屏内的压力，高于容器内部的压力。

2、根据权利要求1所述的排气工艺，其特征于把所述的容器内部的压力，设定为初期压力水平的状态下，用高于平面显示屏内部的压力注入所定的惰性气体，平面显示屏内部压力的设定，要高于容器内部压力。

3、根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于排气时，注入盘内部所定气体，提高盘内部压力的过程和盘内部的不纯气体的排气过程要反复地进行。

4、根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于所述的平面显示屏内部压力，比容器内部压力高的压力维持在一定水平，一定时间之后，进行前述的不纯气体的排气动作。

5、根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于固定持续地维持容器平板排出盘内部的压力差，使不纯气体连续地排气。

6、根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于在设定了的盘内部的压力，高于容器压力的状态下，以第1压力比例注入盘内部所定气体的同时，盘内部的气体就以第一压力比排气。

7、根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于平面显示屏采用等离子体显示屏。

8、根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于平面显示屏采用液晶显示装置。

9、根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于平面显示屏采用FED。

10、根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于平面显示屏采用机电场发光装置(有机EL)。

11、一种用于排出平面显示屏内的不纯气体的排气装置，其特征在于备有为进行排气工艺的平板排出盘及安抵的支撑架，同时备有在一侧与第一贯通孔及前述平板排出盘的末端管连结在一起的第二贯通孔，所构成的容器；前述被连结在容器的第一贯通孔，调节通过注入气体及气体排气的容器内部压力，为第一压力调节器；如前述，被连接容器的第二贯通孔，通过注入气体及气体排气，调节平面显示屏内部压力，为第二压力调节器；如前述，通过第一及第二压力调节器，在设定了平面显示屏内部的压力，高于容器内部压力的状态下，包括控制(进行)平面显示屏内部不纯气体排气动作的控制器在内所构成。

12、根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于控制器如前所述在于进行排气动作，控制第二压力调节器，注入平面显示屏内部所定气体的过程和平面显示屏内部的不纯气体的排气过程，返复进行控制。

13、根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于注入到平板排出盘内部的气体，是惰性气体，以此为特点的如[申请项目12]所记载的平板排出盘所用气体排气装置。

14、根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于在容器内部，作为排气热源，备有红外线卤素加热装置为特点的，如[申请项目11]所记载平板排出盘所用的气体排气装置。

15、根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于第一及第二压力调节手段，要适应前述附加控制手段所定的控制信号，为气体排气的排气泵；

与该排气泵相连接，适应前述附加控制手段的控制信号，能开/关的第一阀门；

适应前述附加控制手段所定控制信号，为注入气体的气缸；

与该气缸相连结，适应前述的附加控制手段的控制信号，能开/关的第二阀门；

和备有为测定所定压力的压力测定器所构成。

如前所述，第一阀门和第二阀门以及压力测定器，与前述的容器的第一或第二贯通孔相连结，以此为特点，如[申请项目11]所记载的平板排出盘所用气体排气装置。

16、根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于多个备有平板排出盘可安抵了的容器。

如前述，第一压力调节手段与多数容器的各第一贯通孔相连结。

如前述，第二压力调节手段介于多数容器的各第二贯通孔，与平板排出盘相连结所构成，以此为特点，如[申请项目11]所记载的平板排出盘所用的气体排气装置。