[发明专利]薄膜制造方法和装置、带薄膜的旋转椭圆体及应用它的电灯

权利要求书

1、一种薄膜制造方法，是利用从衬底侧看去从位于特定方向的成膜源飞来的成膜粒子在包含旋转椭圆体形状的衬底上形成薄膜的薄膜制造方法，其特征在于，以上述旋转椭圆体形状的旋转轴为中心，使上述衬底以一定的角速度旋转，进行自旋运动，同时，以上述旋转轴上的上述旋转椭圆体形状的2焦点间的中心附近为中心，使上述旋转轴以一定周期在同一面内旋转振动，进行使上述衬底旋转振动的摇摆运动，从而在上述衬底上形成薄膜。

2、权利要求1记载的薄膜制造方法，其特征在于，上述摇摆运动使上述旋转轴的上述中点的上侧部分靠近上述成膜源，使上述中点的下侧部分远离上述成膜源。

3、权利要求1记载的薄膜制造方法，其特征在于，上述成膜源是平板，上述摇摆运动这样进行，即，使上述旋转轴在垂直上述平板的面的面内，以一定周期旋转振动。

4、权利要求1记载的薄膜制造方法，其特征在于，上述摇摆运动的旋转振动的旋转角速度连续变化。

5、权利要求1记载的薄膜制造方法，其特征在于，对于上述摇摆运动的旋转振动，通过在上述旋转振动的范围内设定多个停留位置和在上述各停留位置的停留时间，使上述旋转振动断续变化。

6、权利要求1记载的薄膜制造方法，其特征在于，上述薄膜的形成使用溅射法或蒸镀法。

7、权利要求6记载的薄膜制造方法，其特征在于，上述薄膜是从红外反射膜和扩散膜中选出的至少一种膜。

8、权利要求1记载的薄膜制造方法，其特征在于，包括上述旋转椭圆体形状的衬底是电灯泡。

9、权利要求8记载的薄膜制造方法，其特征在于，上述摇摆运动的旋转振动的中心是在上述电灯泡的灯丝部的长边方向的中心附近。

10、一种形成薄膜的旋转椭圆体，是利用从被镀体看去从位于特定方向的成膜源飞来的成膜粒子形成薄膜的作为上述被镀体的旋转椭圆体，其特征在于，以上述旋转椭圆体形状的旋转轴为中心，使上述旋转椭圆体以一定的角速度旋转，进行自旋运动，同时，以上述旋转轴上的上述旋转椭圆体形状的2焦点间的中点附近为中心，使上述旋转轴以一定周期在同一面内旋转振动，进行使上述旋转椭圆体旋转振动的摇摆运动，从而在上述旋转椭圆体上形成薄膜，由此，在上述旋转椭圆体形状表面上形成的薄膜至少在上述自旋运动的旋转方向和上述摇摆运动的旋转振动方向上，其膜厚分布是均匀的。

11、权利要求10记载的旋转椭圆体，其特征在于，上述摇摆运动使上述旋转轴的上述中点的上侧部分靠近上述成膜源，使上述中点的下侧部分远离上述成膜源。

12、权利要求10记载的旋转椭圆体，其特征在于，上述成膜源是平板，上述摇摆运动使上述旋转轴在垂直上述平板的面的面内，以一定周期旋转振动。

13、权利要求10记载的旋转椭圆体，其特征在于，上述薄膜使用溅射法或蒸镀法形成。

14、权利要求10记载的旋转椭圆体，其特征在于，上述薄膜是从红外反射膜和扩散膜中选出的至少一种膜。

15、权利要求10记载的旋转椭圆体，其特征在于，上述旋转椭圆体是电灯泡。

16、权利要求15记载的旋转椭圆体，其特征在于，上述摇摆运动的旋转振动的中心是在上述电灯泡的灯丝部的长边方向的中心附近。

17、一种电灯泡，其特征在于，将形成了权利要求10至16中任何一项记载的薄膜的旋转椭圆体作为电灯泡使用。

18、一种薄膜形成装置，是利用从衬底侧看去从位于特定方向的成膜源飞来的成膜粒子在包括旋转椭圆体形状的衬底上形成薄膜的薄膜形成装置，其特征在于，具有旋转机构，能够以上述旋转椭圆体形状的旋转轴为中心，使上述衬底以一定的角速度旋转，进行自旋运动，同时，以上述旋转轴上的上述旋转椭圆体形状的2焦点间的中点附近为中心，使上述旋转轴以一定周期在同一面内旋转振动，进行使上述衬底旋转振动的摇摆运动。

19、权利要求18记载的薄膜形成装置，其特征在于，上述薄膜的形成使用高频溅射法或直流溅射法。